表面粗糙度仪测量原理

接触式粗糙度测量仪各部名称                               

接触式粗糙度测量仪特征                                      

ISO3274:1996(JIS B 0651:2001)

测针的几何结构                                                    

理想的测针形状是圆锥型，尖端为球形尖端半径：rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm

圆锥角度：60°, 90°；

在理想表面粗糙度测量中，除特别规定以外，每个圆锥角的角度都是 60°。

静态测量力                                                           

测针平均位置的测力：0.75ｍN

测力的标称变化率：0N/ｍ

标准特性值：测针平均值的静态测力

注1  对于特殊结构探测器 (包括一个可更换测头)，在平均位置静态测量力的最大值为 4.0mN。

截止波长与测针尖端半径之间的关系             

如下表所列，测针尖端半径rtip的标准值与对应于截止波长标准值的粗糙度截止波长比率之间的关系。

注1： 对于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面，通常可以使用rtip=5μm的测针，在测量结果中没有明显差别。

注2：当截止波长λs为2.5μm或8μm时，与推荐测针针尖半径的测针（触针）机械滤波所产生的衰减特性将位于定义的传输带之外。因此，测针的半径或者形状上的微小误差不会影响到测量中参数的计算。

如果需要特殊的截止波长比率，须指定。

轮廓曲线类型                                                       

ISO 4287 : 1997（JIS B 0601 : 2001）

应用截止波长λs的低通滤波器以后，获得总轮廓。

对断面曲线（原始轮廓）采用λc轮廓滤波器抑制长波成分以后形成的曲线（轮廓）。

波纹曲线（波纹轮廓）

对断面曲线（原始轮廓）连续应用λf和λc两个轮廓滤波器以后形成的曲线（轮廓）。采用λf轮廓滤波器抑制长波成分，而采用λc轮廓滤波器抑制短波成。